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氮化铝膜
2017/7/7

氮化铝膜用气相沉积、液相沉积、表面转化或其他表面技术制备的氮化铝覆盖r氮化铝的电阻率高〔1}12,iZ"em),热膨胀系数低,硬度高,化学稳定性好,而且热导率也很高(3.2 W"rm一r.K一’)氮化铝在整个可见光和红外频段都具有很高的光学透射率.这些性能都使氮化铝膜在微电子和光电子器件、衬底材料、绝缘层材料、封势材料卜有着J一阔的应用前景。

它可用作声表面波器件,此外,氮化铝还具有良好的耐磨损和耐腐蚀性能,可用作防护膜。 

 
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